MIM陰極平面ディスプレイ(表示記録用有機材料およびデバイス)

抄録

MIM(Metal-Insulator-Metal)陰極を用いたFED(Field Emission Display)型の平面ディスプレイは、低電圧駆動(〜10V)、耐表面汚染性、高いビームの直進性、均一な電子放出分布など多くの利点を有する。本報告では、MIM陰極アレイの構造とプロセス、高効率化、高電流密度化などの電子放出特性の向上、高温のフリット封着プロセスに対応できる陰極の耐熱性の向上、および平面ディスプレイパネルの試作結果について述べる。