抄録
光ディスクマスタリングにおいて,波長266nmのレーザーと開口数(NA)が1.35の対物レンズを用いてニアフィールド露光を実現した.対物レンズは,波面収差が70mλrms以下の非球面モールドレンズと,波面収差25mλrms程度の超半球タイプのSILを組み合わせて2群構成とした.レンズ原盤間の距離(エアーギャップ)検出には波長532nmのレーザーを用いた.差動排気型エアーパッドとピエゾ(PZT)アクチュエータによる2段サーボ制御によりエアーギャップを約100nmに引き込み,このときのギャップ変動幅を10nmPP以下に抑えた.CDサイズ40GB相当の密度でROM信号を記録し,明瞭なピットパターンを形成した.また25GBのROM露光の結果,良好な再生信号品質が得られた.
