電子ビーム記録装置を用いた高精度記録(光記憶および一般)

抄録

ハイビジョン映像を2時間以上記録するために,次世代光ディスクには23GB以上の記録密度が要求される。このような高密度光ディスクは,狭トラックピッチでより短いマーク長で記録しなければならないため,高解像度かつ高精度なマスタリング装置が必要となる。そのために我々は電子ビーム記録装置(Electron BeamRecorder : EBR)を開発した。記録位置精度向上のためのいくつかの改良を行い,ピッチむらの向上を確認した。また,スパイラル記録において100nmピッチの記録を実現した。