HDD用GMRヘッドにおける静電気破壊の検討

抄録

ハードディスクドライブ(HDD)に用いられている磁気ヘッド(例えばGMRヘッド)は、ESDに非常に敏感であることが知られている。本報告では、従来詳細に議論されていなかったGMRヘッドのESD破壊モードの分類方法を考察し、示した。これにより、ESD不良現象の把握が正確に出来るようになった。また、実際のHDD/GMRヘッド製造ラインで起こったESD破壊の実例もあわせて報告する。