対向ターゲット式スパッタ法によるグラニュラテープメディアの搬送成膜(媒体および一般)

松沼 悟; 井上 鉄太郎; 土井 嗣裕; 松鵜 利光; 橋本 篤人; 藤裏 弘樹; 平田 健一郎; 中川 茂樹

doi:10.11485/itetr.32.28.0_45

セッションID: MMS2008-47

DOI https://doi.org/10.11485/itetr.32.28.0_45

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対向ターゲット式スパッタ法によるグラニュラテープメディアの搬送成膜(媒体および一般)

松沼悟, 井上鉄太郎, 土井嗣裕, 松鵜利光, 橋本篤人, 藤裏弘樹, 平田健一郎, 中川茂樹

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キーワード: 磁気記録テープ, スパッタテープメディア, 対向ターゲット式スパッタリング, 記録再生特性

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抄録

対向ターゲット式スパッタ(FTS)法によって長手記録テープメディアを搬送フィルム基板上に作製した.CoPtCr-SiO_2グラニュラ膜の微細構造への基板フィルムの搬送速度(100cm/min,5.8cm/min)の効果を調べた.搬送速度は,グラニュラ構造の結晶粒(平均直径8nm)に影響を与えなかった.記録再生特性を測定したところ,0.5Gb/in^2クラスの市販の粒子タイプのテープメディアに対して,8dB高いSNRを示した.

責任著者(Corresponding author)

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