斜め入射光学系を用いたHDDスライダ浮上量の高精度測定技術に関する検討(信号処理および一般)

抄録

近年、高精度なHDDスライダの極低浮上量測定技術より重要になってきている。我々は、斜め入射光学系を用いた浮上量測定技術を開発した。本技術は基本的にガラス媒体上に浮上したスライダの浮上測定を行うものであるが、実媒体に近い潤滑/保護膜付ガラス媒体上の測定に応用することが可能であり、ヘッドとディスクの接触事象としてTouch DownやTake Offの振舞を観測することができる。我々は潤滑/保護膜が浮上量測定に与える影響について理論的に検討し、補正手法を確立した。本手法を用いて潤滑/保護膜付媒体において浮上量測定を行い、妥当性を検証した。