nc-Si MOSカソードの電子放射特性(発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)

抄録

極薄酸化膜で被覆されたナノ結晶シリコン(nc-Si)からなるMOSカソードアレイを製作し、電子放射特性について調べた。その結果、ゲート電極の仕事関数程度の低電圧からの電子放射を観測した。放射電流の経時変化は、時間と共に多少減少するものの、比較的安定であった。蛍光体を用いた放射電子パターンの観察により、放射電子は面内でほぼ均一で、ビーム広がり角が約3°と見積もられ、指向性も良いことを確認した。