映像情報メディア学会技術報告
Online ISSN : 2424-1970
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セッションID: IST2012-14/CE2012-26
会議情報
1.4μm表面照射型積層導波路構造イメージセンサ : SmartFSI^<TM>(固体撮像技術および一般)
渡辺 尚志, 平井 純, 勝野 元成, 立川 景士, 片岡 雅雄, 河岸 沙織, 久保 裕子, 矢野 尚, 鈴木 繁, 岡崎 玄, 山本 浩一, 藤中 洋, 藤岡 崇志, 鈴木 政勝
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キーワード: イメージセンサ, FSI, 導波路, カラー隔壁構造, 1.4μm画素
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抄録
高屈折率のシリコン窒化膜で形成した光導波路上に、低屈折率のシリコン酸化膜でカラーフィルタ間に分離した新規光学離を有する1.4μm画素の表面照射(FSI)型イメージセンサ。高性能を実現するために、300mmウェハの45nmCuプロセスを採用し、裏面照射(BSI)型イメージセンサを凌駕する75%の量子効率と40°の入射角特性を実現した。
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© 2012 一般社団法人 映像情報メディア学会
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