抄録
赤外線カメラは高性能化と高密度化、一方で低価格化の２極化が進んでおり、 赤外線サーモグラフィの市場規模は年々拡大している。
冷却型赤外線カメラは、640X512 画素から更に高画素の 2kX1.5k 画素(3M ピクセル)の赤外線カメラが発売されている。通常、高画素化に伴い各画素ピッチが狭くなると、各画素の入射してくる赤外線エネルギー量が少なくなるので取り込み時間を長くする必要があるが、画素ピッチが狭くとも取り込み時間を長くしないような感度の向上が図られている。640X512 画素で 1000fps や、320X240 画素で 3000fps のフレームレートが可能な赤外線カメラもあり、高性能化により１秒間に撮影できるフレームレートと温度分解能の向上により、非常に短時間に発生する小さな温度変化が捉えられるようになっている。
赤外線検知素子の性能向上としては、画像出力がアナログからデジタル化され、赤外線検知素子の感度の向上、および画像回路の低ノイズ化や画像ソフトウエアにより高感度化が進んでいる。ここでは、MCT 赤外線検知素子を使用した高感度赤外線カメラを紹介する。
