進行波型圧電ポンプの研究 実験とシミュレーションによる結果

辺見 信彦; 田中 道彦; 須田 晃正; 唐沢 文明; 市河 雅彦; 大嶋 清; 宮原 直紀

doi:10.11511/jacc.48.0.53.0

第48回自動制御連合講演会

セッションID: D1-41

DOI https://doi.org/10.11511/jacc.48.0.53.0

会議情報

主催: 計測自動制御学会, システム制御情報学会, 日本機械学会, 化学工学会, 精密工学会, 日本航空宇宙学会

共催: 43学協会

インテリジェントセンサ・アクチュエータ２

進行波型圧電ポンプの研究

実験とシミュレーションによる結果

*辺見信彦, 田中道彦, 須田晃正, 唐沢文明, 市河雅彦, 大嶋清, 宮原直紀

著者情報

キーワード: 圧電ポンプ, バイモルフ素子, 進行波, 圧電アクチュエータ

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抄録

本研究では複数の圧電アクチュエータを貼付した金属振動板を搬送流路内に挿入し，流路に沿って進行波を発生させることにより流体を搬送するという新しい進行波型圧電ポンプを考案した．本報では実際に実験用装置を試作し，振動板の動作と特性，流体搬送の性能と問題点などを調査した結果を報告する．また，有限要素法シミュレーションにより振動板の動きにより流体がどのように搬送されるかを簡単に解析した結果も示す．

責任著者(Corresponding author)

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