LiNbO₃矩形板を用いた単相駆動型超音波モータの駆動特性の測定

抄録

　圧電単結晶のLiNbO₃を用いて単相駆動が可能な超音波モータの試作・測定を行った。振動子先端にジルコニアボールを付けることにより、無負荷状態で、のべ40時間以上の駆動が可能となっている。駆動モードの切り替えで回転方向を反転させられることを確認したが、両モードで回転可能な与圧範囲や電圧範囲に大きな差があることが判明した。この結果を周波数特性や負荷特性と合わせて報告する。