回折モアレ光を用いたXY軸自動位置決め装置の開発

抄録

本研究では回折モアレ光を用いたXY軸自動位置決め装置を開発した。位置センサ部は、光源である半導体レーザ、2組の回折格子対、2つの受光器から構成されている。 回折モアレ光の光強度は2枚の回折格子の相対変位に依存し周期的に変化するため、この特性を位置決めに用いている。 また、著者らが行ったX軸を用いた位置決めでは格子ピッチが10μmのとき、理論分解能が1nmという結果が得られており、XY軸の位置決めでも同等の精度を目標として実験を行った。