引張・圧縮負荷下でのマイクロ磁歪振動子の性能評価

抄録

近年，鉄にガリウムを18.4 %含有したGalfenolという磁歪材料が開発された．Galfenolは延性材料であり，加工性が良くかつ引っ張りや曲げに非常に強いことからPZTよりも小型で高強度かつ負荷下でも使用可能な振動子を実現できる．本稿ではGalfenolを使った振動子を製作し、引張力及びばねによる圧縮力を加えることによる性能評価を行った。また共振駆動において変位を増幅させる機構を検討した。