空気ばねの内部空気撹拌による温度変化抑制の一手法

抄録

半導体露光装置は，精密な位置制御が必要とされるため，空気ばねを有する空圧式アクティブ除振装置により支えられる．また露光装置は温度変動の影響を無視できず，チャンバ内で局所的な温度管理が施される．しかし，高圧空気の吸排気による空気ばねの温度変化は，現状検討されていない．そこで，本発表では空気ばねの温度変化を問題視し，これを抑制するために，空気ばね内部にファンを設置することにより，内部空気を強制的に撹拌させる手法を提案する．