モード空間外乱補償に基づく力コントローラを用いたマクロマイクロバイラテラル制御の実現

抄録

近年，微細領域で駆動するロボットについての研究が行われており，多自由度化による操作が期待されている．微細領域における精密な操作を考慮する上で，システムの特異姿勢や計算処理の煩雑さを回避することが望まれる．そこで本論文では，力コントローラに基づく制御系を構築することで，広帯域なマクロマイクロバイラテラル制御を実現する．マスタ・スレーブシステムの質量変動から生じる干渉項をモード空間内の外乱として補償し，高精度な制御を可能とする実験機を用いた実験により，提案手法の有効性を示す．