ダイヤモンド放射線検出器の開発(1)

理想のダイヤモンドを求めて

抄録

　1995年から著者が続けてきた開発を中心にダイヤモンド放射線検出器について2回に分けて解説する。高圧高温合成(HP/HT)法で合成されたIIa型単結晶ダイヤモンドの使用に始まり，化学気相合成(CVD)法を使用して理想的電荷キャリア輸送特性を持つエネルギースペクトロメータグレードの単結晶ダイヤモンドを追求してきた。現在はCVD法と産業技術総合研究所で開発されたスマートカットの一種であるダイレクトウエハ法によりエネルギースペクトロメータグレードの検出器用CVD単結晶ダイヤモンド自立膜を再現性良く製作可能となっている。