超伝導遷移端センサ(TES)を利用したマイクロカロリメータを搭載したFE-SEMは新しい微小部化学分析のシステムである.TES を搭載したULTRA55 FE-SEMを使用し,REEのM線の分析を行った結果: LaB6 で LaMζ 638 eV, LaMα, β 840 eV, LaMγ 1026 eV, M2N4 遷移線 1110 eV に特性X線を検出でき,他のREEホウ化物も同様に4本の特性X線を認めた.定量分析のために標準物質を用いて検量線を作成したところ,P, Ca, La, Pr, Ndの強度と濃度には線形の関係がえられた. CeMα, βは非線形であり,吸収,蛍光励起等の影響と思われる.