超電導磁気軸受を用いたターボ分子ポンプの設計と評価

抄録

超電導磁気軸受の評価を行い,それをターボ分子ポンプに活用するための研究を行っています。ターボ分子ポンプに超電導磁気軸受を用いることで,非接触で回転駆動させメンテナンスフリーの実現や軸受に油を使用しないため,よりクリーンな真空状態を達成することが考えられます。また,電磁石による磁気軸受の場合,停電時等のバッテリーが必要となりますが,超電導の場合それが不必要となり,機械的構造を簡易にすることが可能とも考えられます。この実現のために、最適な超電導タービンを設計し,さらに製作したタービンを用いて加振実験,回転実験等を行い軸受の評価を行いました。