沿面放電プラズマを用いた薄膜材料の線形パターンエッチング技術

抄録

我々はマスクレスでパターニング処理の可能な新しい方式として、沿面放電プラズマをエッチング源として用いる手法を提案しており、これまで、太陽電池用シリコン基板表面の電極溝作製を行ってきた。[2]しかし、太陽電池表面には反射率を低減させるためのテクスチャ(凹凸)構造が形成されており、沿面放電プラズマによるエッチング形状の検討が困難であった。 そこで、本研究では平滑シリコン基板上に形成された窒化シリコン薄膜をエッチングすることで、エッチング形状の検討を行う。