インクジェット法を応用したレジスト塗布

抄録

レジスト塗布の方法として,スピンコータが用いられていることはよく知られている.このスピンコータによる方法は被塗布物体を高速回転させる必要があり,塗布物(レジスト)の80%から90%を無駄にしているとの報告もある.我々は,レジスト塗布の1方法としてインクジェット技術の応用を試みている.これまでレジスト塗布として比較的狭い面積に対する試みを実施した.この結果,レジスト塗布の平均膜厚や材料使用比率等に関する良好な諸特性が得られた.本稿では,比較的広い面積へのレジスト塗布を試み良好な結果が得られたので報告する.