抄録
極端紫外（EUV）光リソグラフィーの光源として実用化が期待されている、レーザー生成方式EUVプラズマへのレーザートムソン散乱（LTS）法の適用を試みている。EUVプラズマで予想される電子密度、電子温度において、散乱は協同的散乱領域にある。プラズマの背景光強度から、イオン項スペクトルを計測対象とした。イオン項スペクトルの計測には、高い波長分解能と、優れた迷光除去性能を持ったシステムが必要となる。そこで、多波長同時計測が可能で、かつ10 pm程度の高い波長分解能と、優れた迷光除去性能をもつ、新たな分光器を開発した。現在予備実験として、炭素プラズマのイオン項計測を行っている。
