抄録
最近Al添加ZnO(AZO)はスズ添加酸化インジウム(ITO)に代わる透明導電膜材料として注目されている。
我々はこの材料を用いた高品質な薄膜を成膜するプロセス技術の確立を目指し、誘導結合プラズマ(ICP)で
プレーナマグネトロンを支援することを試みている。これまでに抵抗率10－3Ω・cmオーダーの薄膜を確認した。
本プロセスにおいてプラズマ表面相互作用の観点から理解するために、今回サーマプローブの作製を行い、
動作確認試験を行った。本講演では、マグネトロン放電、ICP、ICP支援マグネトロン放電の3種類の放電形態における
熱流束の測定結果を報告する。
