フェムト秒光ファイバレーザ増幅システムの出力特性とマイクロ加工の微細化

抄録

受動モード同期ファイバレーザで発生した１．５ミクロン帯のフェムト秒光パルスをファイバレーザ増幅器で増幅した。ファイバレーザ出力と後段との間にアイソレータを挿入したが、3種のアイソレータで増幅後のパルス幅と出力を測定してその比較を行った。3種のアイソレータのうち切り出し増幅後の出力が最も高かった偏光依存アイソレータを使用してアクリル、ポリスチレン、テフロン、塩化ビニルにマイクロ加工を行った。また、加工にはファイバーの出力端面と加工材料の間にセルフォックレンズを設置して加工材料に照射した。これにより従来より微細な加工が行えることがわかった。