MEMSプロセスを用いた低損失インピーダンス整合回路の開発

抄録

近年，無線通信端末の多機能化に伴い低消費電力化が進んでいる．通常，CMOSプロセスを用いた低雑音増幅器(LNA)の入出力部には外部回路との整合用にスパイラルインダクタが装荷されている．しかし，スパイラルインダクタはQ値が低く損失が大きいため，LNAの高利得化や低雑音化を阻む原因の一つとなっている．本研究ではMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)プロセスを用いて，伝送線路とインバータ回路からなるフィルタ一体型インピーダンス整合回路を設計した．これによりCMOSプロセスに比べて低損失なインピーダンス整合回路を実現したので報告する．