Si中Au回復過程で発生するAu集合体の回復方法依存性

抄録

Si中でAu原子は格子間位置と置換位置を占め，置換金には熱履歴によって高温置換金，低温置換金，置換金集合体の3つの状態がある．900℃での過飽和高温置換金の外方拡散過程（連続回復法）で新しいAu集合体が発生することは既に報告した．今回は，過飽和低温置換金の回復過程（通常回復法）でもAu集合体が発生することが判明したので，高温置換金回復過程で発生するAu集合体との違いについて調べた．その結果，低温置換金の回復過程で発生するAu集合体の場合，含まれるAu原子数の少ないものが多く分布し，全体の発生数は多くなることが分かった．