抄録
電子デバイスの小型化に伴い、その内部に組み込まれる小型磁石の研究が進められている。その中でも、Nd-Fe-B/α-Fe多周期ナノコンポジット磁石膜は高い残留磁化のため、磁界発生用等方性磁石として期待されている。我々は、Nd2.4Fe14B/α-Fe の複合材料ターゲットを用い、PLD法によりNd-Fe-B/α-Fe多周期積層型ナノコンポジット磁石膜を作製した。本稿では、レーザービーム集光度やターゲット回転速度などの成膜条件を制御し、作製したナノコンポジット磁石膜の諸特性及びその再現性について報告する。
