真空アーク蒸着法により作製したNd-Fe-B系磁石膜

抄録

小型電子デバイスを開発するうえでその機器内部に使われる数十μm厚の希土類系厚膜磁石が所望されている。我々は真空アーク蒸着法によりNd-Fe-B系磁性厚膜磁石を作製してきた。本実験ではアーク放電に用いるコンデンサ容量を変化させた際の磁気特性に与える影響を検討したので報告する。