抄録
情報通信の多様化、コンピュータ処理技術の高度化などに応じて、より高い周波数の水晶振動子が要求されている。高周波水晶振動子の周波数安定度を向上させるためには、スプリアス振動を避けた設計が重要である。本研究では、有限要素法により、広い温度範囲でスプリアスを含めた水晶振動子の周波数応答を解析できる方法を開発し、主振動とスプリアス振動の状態を、振動子形状と温度をパラメータとして表現した。本稿では温度条件を考慮した上で、厚さ10μm、長さ1300μm～1400μmの水晶振動子のモードチャートのシミュレーションを実施した結果について報告する。
