電気関係学会九州支部連合大会講演論文集
平成24年度電気関係学会九州支部連合大会(第65回連合大会)講演論文集
セッションID: 05-1A-06
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MOVPE法によるZnO基板上ZnTe薄膜の作製と評価
*平野 博之秋山 肇西尾 光弘郭 其新田中 徹斉藤 勝
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抄録
Ⅱ-Ⅵ族化合物半導体でp-typeを示すZnTeは太陽電池,純緑色のLEDやLDのような光電子デバイスへの応用が期待されている.n-typeを示すZnOは安定な励起子と大きなバンドギャップを持ち,ZnTeとZnOはp-nヘテロ接合を作製することが可能である.光電子デバイスへの応用の大きな可能性があるために,ZnO基板上のZnTeエピタキシャル成長は期待されている.本研究では,有機金属気相成長(MOVPE: Metal Organic Vapor Phase Epitaxy)法を用いて,ZnTeのエピタキシャル膜をZnO基板上に作製し,ZnTe成長膜の結晶性を明らかにすることを目的とした.
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© 2012 電気関係学会九州支部連合大会委員会
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