抄録
プラズマプロセシングにおいて、中性気体温度は、バルクプラズマ中の様々な電子状態の中性、荷電粒子種の衝突と化学反応に影響し、それらの生成・輸送・損失に影響を与えるのみならず、基板表面に入射する粒子束とエネルギー束にも影響を与えるので、その把握はプロセスを理解する上で極めて本質的である。近年、小型化、安価、高信頼性などの特長を有する半導体レーザーを用いたプラズマ中の中性気体温度計測が盛んに行なわれるようになってきている。当研究室では、波長可変半導体レーザー分光法（TDLS）の活用に注目し、一昨年度から外部共振器型半導体レーザー（ECDL）の自主開発に取り組んでいる。本講演では、開発の現状について報告する。
