抄録
当研究室で製作した外部共振器型半導体レーザー（ECDL）を光源として、誘導結合プラズマ（ICP）、DCマグネトロンスパッタリング（DCMS）、誘導結合プラズマ重畳直流マグネトロンスパッタリング（RF-ICP重畳DCMS）の３種類の放電プラズマにおいて、準安定Ar原子密度と中性気体温度の計測を行なった。準安定Ar原子密度と中性気体温度の導出は、実験で得られた吸収線形状を、準安定Ar原子密度と中性気体温度をパラメータとして与えて理論計算して求めた吸収線形状でフィットすることで得られた。準安定Ar原子密度と中性気体温度に及ぼすICP電力・DCMS電力・動作気圧・観測位置などの影響を報告する。
