抄録
LIBSにおいて測定された発光スペクトルから試料組成を定量的に精度良く求めるためには，スペクトルデータの処理が重要である。本研究では組成比が既知の固体を分析試料として，Nd:YAGレーザと小型分光器を用いてLIBSスペクトルを測定し，データ処理により，測定スペクトルのSN比，ばらつき，分解能の改善を行った。また，プラズマ温度，電子密度，組成が均一と仮定したプラズマモデルを用いて，各原子･イオンのスペクトルデータを用いて発光スペクトルを計算し，測定スペクトルへフッティングさせることにより，プラズマパラメータの推定を行い，XRFによる分析値との比較を行った。
