協同的トムソン散乱法による大気圧非熱平衡プラズマの研究

抄録

大気圧非熱平衡プラズマは、大気中での生成が可能であることや、ラジカル生成が容易であることなどから、オゾン生成や排ガス処理など、多くの応用例のある有用なプラズマである。しかし、プラズマ形成するパルスマイクロ放電は、微小、短命であるため、プラズマ内部の状態は明らかにされていない。本研究では、大気圧非熱平衡プラズマを形成するひとつのパルスマイクロ放電内の電子密度や電子温度の時間空間分解計測を、レーザートムソン散乱法を用いて行っている。測定対象としたのは、針対半球電極間で生成した容量連結型放電であり、これまでに、再結合過程における電子密度・電子温度の計測を達成した。