元素分析のための誘導結合マイクロプラズマの発光分光測定

抄録

本実験では，高感度で高精度に水溶液中の元素分析を行うため，誘導結合型マイクロプラズマによる発光分光計測を行った。超音波振動子で水溶液試料を霧化してHe, Ar，空気などのキャリアガスとともにガラス管中に導入し，13.56MHzの高周波誘導結合マイクロプラズマを発生させた。プラズマからの発光は小形の分光器により300nm-900nmの波長域の発光スペクトルを測定し，これからプラズマ温度，電子密度，及び試料中に含まれる元素を同定した。キャリアガスの流量や組成，高周波電力などのマイクロプラズマ生成パラメータと溶液試料に含まれる元素からの原子線の発光強度の関係を調べた。