大気圧空気プラズマによる表面反応の赤外分光解析

抄録

大気圧プラズマは，医療や環境応用など様々な分野で期待されている。しかし，空気中での放電により物質表面でどのような反応が引き起こされているのかは十分に解明されていない。そこで，大気圧プラズマが引き起こす反応を明らかにするために，誘電体バリア放電により大気圧プラズマを生成し，その近傍に置かれたSi基板の表面の状態の変化を，多重内部反射赤外吸収分光法(MIR-IRAS)を用いて計測した。その結果，赤外吸収スペクトルにはOH基に起因するピークが確認されOH基を持つ物質が吸着していることが分かった。また，Si基板表面の状態を替え同様の実験を行った。今回はその結果の詳細を報告する。