クエン酸浴から作製したFe-Pt電析膜の磁気特性

抄録

Fe-Pt合金は，高い結晶磁気異方性を持ち，永久磁石材料として高いポテンシャルを有する合金である。小型電子機器やMEMS等の用途に磁石材料を応用する際，例えば薄膜形成技術を用いた薄膜化が行われる。薄膜形成プロセスは，主にドライプロセスとウェットプロセスに分類できるが，ウェットプロセスの方が常温・常圧下で成膜が可能であることから，工業的には有利である。本研究室では，これまでにFe-Ni合金に関して，クエン酸や酒石酸などの有機酸をベースとするめっき浴を用いて膜作製し，優れた軟磁気特性を有するFe-Ni膜を報告してきた。本研究では，従来のクエン酸浴から作製したFe-Ni膜に関する知見を元に，Fe-Pt膜の作製に関して検討を行った。