ITO透明電極を用いたZnTe緑色LEDの作製と評価

抄録

ZnTeは室温で2.26eVのバンドギャップをもつので，緑色LEDへの応用が期待できる. 本研究室では，p型ZnTeをAl熱拡散によりn型化し，n型電極のAlをウエットエッチングにより極膜化することにより，Al電極側から緑色光の取り出すことに成功している。しかし，この方法では，電流の拡がりが困難となり，発光が局部的になりがちであった．そこで，本研究では，極膜化したAl電極上に透明電極を作製することにより克服しようとした。このために，電子ビーム蒸着法によりITO膜を作製し，ZnTe緑色LEDに適用可能な透明でかつ良好な導電膜を作製するための条件を確立した。更に，この透明導電膜を用いてZnTe緑色LEDを作製し，電気的特性，光学的特性の評価を行った．