抄録
ナノ秒パルス放電は、オゾン生成や排気ガス処理において熱損失の少ない高効率な手法として注目されている。しかし、様々な応用展開をするうえで、その小型化が切望されており、本研究では、マイクロ秒パルス発生部及びナノ秒パルス圧縮部、ナノ秒パルス放電形成部よりなるナノ秒パルス放電システムのマイクロ秒パルス発生部に着目してその小型化を図った。今回、マイクロ秒パルス発生部を小型化するために、エネルギー蓄積密度が高い誘導性エネルギー蓄積方式を利用したパルス電源を製作し、そのナノ秒パルス放電システムへの適用性を評価した。
