帯電したLCD供試体移動時に発生する静電気放電発光特性のPMTを用いた基礎検討

抄録

液晶パネルの製造工程では、絶縁物であるガラス基板の接触帯電や剥離による静電気放電（ESD）の発生問題がある。このような問題に対処するには、発生現象を理解し発生位置を特定することが必要である。筆者らはこれまで、帯電した液晶パネル供試体を用いて、その供試体移動時に発生する静電気放電の放射電磁波を周波数帯域の異なるアンテナを用いて測定し、その放電特性について検討を行っている。供試体では複数の放電が発生し、それが気中コロナおよび沿面放電の２種類であることを明らかにしている。本論文では、光電子増倍管（PMT）を用いて供試体の２種類の放電発光を取得し、その発光特性を電磁波と同期計測して検討した。