半導体外観検査装置における検査画像中の予期せぬ異常の検出

抄録

本研究の目的は、半導体、電子部品の外観検査を阻害する予期せぬ異常を検査画像から検出することである。外観検査装置による自動の外観検査では、装置に搭載された照明の故障やカメラの故障、吸着ノズルの故障等による予期せぬ異常により、製品の特徴部分を正常に読み取れず、検査に悪影響を及ぼす状況が発生する可能性がある。そこで,画像に発生する異常を外観検査前に検出することで検査過程を高効率化することができる。本稿ではこの検査画像の予期せぬ異常に対応するために,複数枚の画像から撮った基準画像と検査画像の比較による検出法について提案する。