空気由来酸素がSnO₂ナノ粒子修飾カーボンナノチューブガスセンサのNO₂応答に及ぼす影響

抄録

我々は大気汚染物質の一つであるNO₂の空気中での室温高感度検出を目的とし、酸化物半導体ナノ材料によるセンサを、誘電泳動集積法を用いて作製してきた。SnO₂ナノ粒子修飾CNTガスセンサは空気中におけるNO₂に対する応答がN₂中に比べ減少することがわかっている。空気中の酸素が酸化物半導体ガスセンサの表面に吸着することでセンサの応答に影響を与える現象についてはすでに数多く報告されている。我々はUV照射下および非照射下でのN₂中と空気中のセンサ応答を比較することで酸素がセンサ応答に与える影響について評価し、酸素の影響を低減するガス応答の取得方法について検討した。