我々の研究グループでは誘電泳動集積法によりp型カーボンナノチューブ(CNT)を電極間に集積して電界効果トランジスタ(FET)型の小型センサを作製し、NO2の高感度検出を目指している。CNT-FET型のガスセンサにおいては、低濃度検出の場合はソース－ドレイン電圧VDSを−1Vに設定し、しきい値電圧の変化としてNO2応答を取得していた。この際、十分なチャネル電流が確保できず、10 ppbオーダーのNO2ガス暴露によるしきい値電圧変化を明瞭に評価できなかった。本研究ではVDSを変化させ、オン電流を向上し、電流電圧特性における信号対雑音比を向上させた。この結果、VDSを-5Vに設定することで、10ppbオーダーのNO2暴露によるしきい値変化が明瞭化出来た。
