誘電泳動集積法により作製したCNT-FETガスセンサを用いたNO₂検出における電流ヒステリシスの影響

抄録

現在私たちは電界効果トランジスタ(FET)型カーボンナノチューブセンサをNO₂検出に用いているが、CNT-FETには、酸素や水に起因する、電流ヒステリシスが存在する。現在は、センサの初期化時に紫外線照射による吸着分子を脱離した上でゲート電圧変化を負から正の向きに行っているため、吸着ガスによる電流ヒステリシスの影響を考慮していない。本研究では、ゲート電圧掃引を片方向ずつ、また往復測定で行い、閾値の変化などを比較することにより、初期化時の吸着分子の脱離と、現在用いているガスセンサと測定方法はNO₂を適切に行えているか評価する。