弾性板の羽ばたきを利用した磁気駆動マイクロポンプの流路形状変更による小型化

抄録

弾性板の羽ばたきを利用した磁気駆動マイクロポンプは、他原理のポンプに比べ流量が大きいが吐出圧力が低いという欠点があった。これを解決する手法として、複数個のポンプを直列接続することが有効である。しかし、本手法は磁石間の干渉を避けるため磁石間距離を空ける必要があり、高圧力化を図るためにポンプ個数を増やすと全長が長くなってしまう問題があった。そこで本研究では、流路をU字形状に変更し、ポンプ可動子を一体化する新構造に提案した。これにより従来の直線状のポンプに比べ、全長は47%短く、消費電力は17%低減することに成功した。また、ポンプ特性を評価したところ、直線状の場合と同等の特性であることを確認した。