管対円筒電極を適用したナノ秒パルス放電方式オゾナイザの特性

抄録

オゾンは今日地球の環境改善に役立つ物質として、上下水道処理、半導体洗浄、工場排水処理など幅広い分野で利用されている。近年、このオゾン生成における新たな手法としてパルスパワーによるオゾン生成が注目されており、他の放電方式に比べエネルギー効率は高いが、生成されるオゾン濃度が40g/m³で飽和し、下水処理や殺菌処理で必要となる100-120g/m³に届いていないのが現状である。本研究では、中心電極近傍におけるオゾンの熱分解を抑制するため、放電リアクタの中心電極内部に冷却材を流入できる冷却構造を導入し、He+O₂混合ガスを原料とした場合の、リアクタ内のガス温度、オゾン濃度への影響を調査した。