剥離現象を利用し作製したFe-Pt系磁石薄帯の磁気特性

抄録

Fe-Pt系磁石は，（BH）_maxが150kJ/m³を超える優れた等方性材料であると共に，優れた生体安全性より医療応用が期待されている。本研究では，Fe-Pt合金ターゲットに高エネルギーのパルスレーザを照射する Pulsed Laser Deposition 法を用い，Si基板上に堆積したFe-Pt系磁石を剥離させる現象を利用し，磁石薄帯の作製を検討した。その狙いとして，耐熱性の低い基板への接着による試料作製や，成膜手法に基づく微細構造制御をバルク材料へ応用するといったものがある。本発表では，剥離を利用したFe-Pt磁石膜の磁気特性を報告すると共に，デバイス応用を鑑みた機械的性質についても紹介する。