近年，ナノ秒パルス放電はオゾン処理や排ガス処理において，従来の誘電体バリア放電法に比べ高効率な処理を行うことが出来る手段として注目されている．従来のナノ秒パルス電源を構成するマイクロ秒パルス発生回路の最大出力電圧は52 kV，エネルギー転送効率は27 %程度であった．そこで本研究では，マイクロ秒パルス発生回路の出力電圧と効率の改善を目的として，トランスの接続方法の見直しやスイッチング素子の変更，ゲートオフ抵抗の最適化を行い．従来装置と比較した．その結果，最大出力電圧60 kV，エネルギー転送効率42 %を達成した．
