剥離現象を利用したFe-Pt系磁石薄帯の作製

抄録

Fe-Pt系磁石は、等方性材料として大きな(BH)_maxを示すと共に、優れた生体安全性より医療応用が期待されている。我々は、Pt薄膜を熱酸化膜付きSi基板に製膜した際に剥離しやすい現象に着目し、PLD(Pulsed Laser Deposition)法を用い、Si基板上への堆積と剥離によりFe-Pt系磁石薄帯を作製する手法を検討してきた。本研究では、剥離に及ぼすFe-Pt系磁石膜の組成や厚みの影響を最初に検討した後、得られた薄帯の磁気特性や機械的性質についても検討したので報告する。