改良型スパッタリング法における成膜時間がPbTiO3ナノ結晶育成に与える影響

抄録

ＩｏＴ機器の電源確保や消費電力増加などによる問題の解決策として、強誘電体薄膜を用いた振動力発電素子や強誘電体メモリが期待されている。本研究では、強誘電体であるＰｂＴｉＯ３の高品質ナノ結晶の作製を試みた。　基板前面に遮蔽版を設置する改良型スパッタリング法により、ＰｂＴｉＯ３ナノ結晶の成膜時間が結晶成長に与える影響について調べた。原子間力顕微鏡により、成膜時間４０ｍｉｎの時に基板の一部領域にて超平坦ナノシートが形成されているのが分かった。成膜条件の最適化により、ＰｂＴｉＯ３ナノ結晶を二次元成長させることで従来の粒状ではなくシート状にすることができた。