透過型偏光モード変換器によるビームの偏光・位相制御

抄録

パルスレーザを用いた微細加工技術において，ビーム断面における偏光・位相状態が加工に与える影響が注目されており，ラジアル偏光，アジマス偏光といったベクトルビームやらせん波面をもつ光渦による加工が報告されている．本研究では，空間的な偏光・位相の制御が可能で，かつ高出力のレーザにも適用可能な透過型偏光モード変換器を用いてビームの偏光・位相の制御を試みた．実験では、Nd:YAGレーザ（1064 nm）の直線偏光ガウシアンビームをラジアル偏光，アジマス偏光に変換できることを実証し，現在，加工実験への展開を試みている．